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3128mm(Ｌ)×2770mm(Ｗ)×1800mm(Ｈ)
加热能力Max 80℃程序可调
兼容8寸及12寸晶圆
8寸晶圆：100μm -750μmm；12寸晶圆：150μm -750μmm
晶圆与膜圆心对位精度：±1mm
0.5 -0.8Mpa 800L/min 1根φ12 气管
AC380V 三相五线 50 Hz 40A
全套约4T
广东思沃先进装备有限公司
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